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1、重復(fù)定位精度測(cè)量原理重復(fù)定位精度測(cè)量主要用到干涉儀的線性測(cè)量，即對(duì)待測(cè)平移裝置的定位進(jìn)行多次測(cè)量，比較得到同一位移指令下的定位精度。線性度測(cè)量是激光干涉儀的基本測(cè)量，原理如圖所示。將一個(gè)角錐反射鏡安裝到分光鏡上，組成線性干涉鏡，它形成干涉儀的參考光路。另一個(gè)角錐反射鏡…[詳情]

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1、平面度 平面測(cè)量是在角度測(cè)量的基礎(chǔ)上做的延伸，利用角度測(cè)量的附件記錄下一系列平面位置角度，轉(zhuǎn)化為高度的變化，按照對(duì)角線的方法測(cè)量出平臺(tái)上不同位置的高度變化值，就可以得到整個(gè)平臺(tái)的平面度。 [詳情]

1、角度測(cè)量原理 角度測(cè)量需要角度干涉鏡和角度反射鏡，并且角度反射鏡和角度干涉鏡必須有一個(gè)相對(duì)旋轉(zhuǎn)。相對(duì)旋轉(zhuǎn)后，會(huì)導(dǎo)致角度測(cè)量的兩束光的光程差發(fā)生變化，而光程差的變化會(huì)被激光干涉儀探測(cè)器探測(cè)出來(lái)，由軟件將線性位置的變化轉(zhuǎn)換為角度的變化顯示出來(lái)。激光干涉儀角度鏡能實(shí)現(xiàn)±1…[詳情]

激光回饋（Laser feedback），又叫激光自混合干涉(self-mixing)，是指激光器輸出的光，一部分被外部物體反射或者散射后，攜帶有外部物體的信息，再次回到激光諧振腔內(nèi)，從而調(diào)制激光器的輸出功率、頻率、模式、偏振態(tài)等的一種物理現(xiàn)象。激光回饋通常被認(rèn)為是一個(gè)需要避免的問題，因?yàn)闆]有…[詳情]

1、直線度測(cè)量原理 雙頻激光測(cè)頭輸出光經(jīng)過直線度干涉鏡，按偏振態(tài)被分成兩束，以一定角度發(fā)散后入射到直線度反射鏡。光束從直線度反射鏡返回，沿新光路回到直線度干涉鏡后，合成一束回到光線接收端，進(jìn)行干涉測(cè)量。通過檢測(cè)光路與干涉鏡和反射鏡之間的橫向位移，就可以得到導(dǎo)軌相對(duì)于激…[詳情]

1、垂直度測(cè)量原理 垂直度測(cè)量的主要采用同一個(gè)測(cè)量基準(zhǔn)軸對(duì)兩個(gè)標(biāo)稱正交坐標(biāo)中的每一個(gè)軸測(cè)量直線度。對(duì)兩個(gè)直線度測(cè)量值進(jìn)行比較，算出兩個(gè)軸之間的垂直度。共同的參考基準(zhǔn)是直線度反射鏡的光學(xué)基準(zhǔn)軸。需要注意的是，兩次測(cè)量直線度之間既不移動(dòng)也不調(diào)整。兩次直線度測(cè)量過程中至少一…[詳情]

1、平行度測(cè)量原理 平行度測(cè)量由兩組直線度測(cè)量組成，兩次測(cè)量都以直線度反射鏡的光學(xué)軸為參考基準(zhǔn)。需要說(shuō)明的是，要得到兩軸的平行度，要在兩個(gè)正交平面內(nèi)沿每個(gè)要被比較的軸測(cè)量直線度。因此，平行度或平行線測(cè)量實(shí)際是四次直線度測(cè)量，每次的步驟和方法同測(cè)量直線度一樣，如下圖所示…[詳情]

1、回轉(zhuǎn)軸測(cè)量原理利用鐳測(cè)激光干涉儀的角度測(cè)量附件，結(jié)合高精密轉(zhuǎn)臺(tái)，便可以對(duì)回轉(zhuǎn)軸進(jìn)行校準(zhǔn)。轉(zhuǎn)臺(tái)小巧輕便，單手可握住并可以多種方式安裝到機(jī)床上；支持內(nèi)置電池或線纜供電，藍(lán)牙傳輸數(shù)據(jù)；內(nèi)置準(zhǔn)直光靶，提高對(duì)光效率；任意角度、任意間隔自動(dòng)測(cè)量。 2、測(cè)量步驟和數(shù)據(jù)處理[詳情]

激光干涉儀，以激光波長(zhǎng)為已知長(zhǎng)度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長(zhǎng)度測(cè)量。激光具有高強(qiáng)度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn)。目前常用來(lái)測(cè)量長(zhǎng)度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源，構(gòu)成一個(gè)具有干涉作用的測(cè)量系統(tǒng)。激光干…[詳情]

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